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基于CMOS-MEMS工艺的热式集成传感器系统性能如何？

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  • 匿名2026/10/19 18:54:17


    　　一种高灵敏度CMOS-MEMS热式集成传感器系统实现了超高灵敏度3.42 mV/(m/s)/mW，检测限为2.49 mm/s，展示了MEMS技术与标准CMOS工艺融合在传感器性能提升方面的潜力。
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